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仪器资讯丨小型离子溅射仪 MSBC-200 和小型真空蒸碳仪 MSBC-300

发布日期:2020-09-12 浏览数:7013

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❂ 小型离子溅射仪 MSBC-200


本仪器主要用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜(金膜), 仪器操作简单方便,是配合中小型扫描电子显微镜制样必备的仪器。小型离子溅射仪是气体在高电流电压的情况下,从气态转化到离子态,对靶材进行轰击,进而把靶材上的金颗粒轰击下来,覆盖在样品表面完成喷金。


❂ 小型离子溅射仪 MSBC-200 技术参数

• 玻璃处理室:Φ100mm、高度130mm


• 试样台尺寸:Φ40mm可同时放6个样品杯


• 金靶尺寸:Φ58mm


• 真空系统:直联旋片真空泵2L/S


• 真空检测:皮氏计


• 真空保护:20Pa配有微量充气阀调节工作真空


• 工作室工作媒介气体:空气或氩气,配有氩气专用进气口和微量充气调节


❂  小型离子溅射仪 MSBC-200 耗材


• 靶材类:金靶,银靶,铂靶,铝靶,镉靶等


• 样品台:铜网支架


❂  小型真空蒸碳仪 MSBC-300

本仪器主要用于扫描电子显微镜样品蒸镀碳膜,仪器操作简单方便,是配合中小型扫描电子显微镜制样必备的仪器。主要用于能谱和电子探针等设备的样品制备处理。镀碳仪是对碳棒进行加热,碳棒相当于一个电阻,随着时间碳棒不断熔融,碳颗粒覆盖样品表面,进而完成镀碳。


❂  小型真空蒸碳仪 MSBC-300 技术参数


• 玻璃处理室:Φ100mm、高度130mm


• 试样台尺寸:Φ40mm可同时放6个样品杯


• 金靶尺寸:Φ58mm碳棒或碳绳


• 真空系统:直联旋片真空泵2L/S


• 真空检测:皮氏计


• 真空保护:20Pa配有微量充气阀调节工作真空


• 工作室工作媒介气体:空气或氩气,配有氩气专用进气口和微量充气调节


❂  小型真空蒸碳仪 MSBC-300 耗材

• 碳棒


❂  小型真空蒸碳仪 MSBC-300 配件

• 碳棒切削机



真空系统


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❂  真空泵

小型离子溅射仪 MSBC-200、小型真空蒸碳仪 MSBC-300通用抽真空系统


• 外形尺寸:330mm*130mm*120mm


• 抽气速度:21.6m²/h


• 极限压力:0.2Pa


• 电机功率:750W


• 加油量:500ml


• 重量:11.5kg


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